半導體行業(yè)的生產(chǎn)對水質(zhì)要求非常嚴格,萊特萊德半導體生產(chǎn)用超純水設備采用先進制水技術,保證設備出水水質(zhì)符合行業(yè)用水需求。
半導體生產(chǎn)用超純水設備工作原理
超純水裝置供給原水進入EDI系統(tǒng),主要部分流入樹脂/膜內(nèi)部,而另一部分沿膜板外側流動,以洗去透出膜外的離子,樹脂截留水中的容存離子,被截留的離子在電極作用下,陰離子向正極方向運動,陽離子向負極方向運動,陽離子透過陽離子膜,排出樹脂/膜之外,陰離子透過陰離子膜,排出樹脂/膜之外,濃縮了的離子從廢水流路中排出,無離子水從樹脂/膜內(nèi)流出。
半導體生產(chǎn)用超純水備工藝
1、預處理-反滲透-水箱-陽床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過濾器-用水對象
2、預處理-一級反滲透-加藥機(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級反滲透-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
3、預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
4、預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制拋光混床-TOC分解器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(新工藝)
半導體生產(chǎn)用超純水備特點
1、選用高性能離子交換樹脂,工作交換容量大,能耗低,使用壽命長。
2、控制部分全部采用進口控制器,保障設備持續(xù)安全運行。
3、全自動控制系統(tǒng),出水穩(wěn)定,使用操作方便快捷。
4、結構合理,安裝操作方便。
5、可根據(jù)實際使用需求,水處理設備個性化設計相應設備。
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