渦輪分子泵： 是以高速旋動的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵的極限壓力可以達(dá)到10-9帕以下，對油蒸汽等高分子量氣體的壓縮比很高，幾乎能達(dá)到測不出的程度。因而殘余氣體中油蒸汽的分壓力很低。由于軸承用的潤滑油僅在泵的出口側(cè)存在，故泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中入口處檢查不出油的痕跡。因此，渦輪分子泵可以獲得清潔無油的超高真空。這種泵如果長期不用，軸承處的油蒸汽會擴(kuò)散到泵的入口側(cè)，降低泵所能達(dá)到的清潔程度。為了消除油蒸汽的污染，在工作時(shí)，須對泵的入口進(jìn)行烘烤除氣，烘烤溫度要嚴(yán)格控制，過高會使葉片變形。有的在停泵時(shí)，用壓力為13hPa的干燥氣體充入泵內(nèi)，以消除油蒸汽返流造成的污染。
目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個(gè)系列幾十款產(chǎn)品，產(chǎn)品囊括實(shí)驗(yàn)電爐、CVD供氣系統(tǒng)、等離子清洗機(jī)、小型離子濺射儀、小型蒸鍍儀等，主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。
科探標(biāo)準(zhǔn)復(fù)合分子泵機(jī)組是一臺清潔的高真空獲得設(shè)備。此設(shè)備是根據(jù)真空知識原理，利用機(jī)械泵、渦輪分子泵組合成的 真空獲得系統(tǒng)，具有啟動時(shí)間快、真空度高、操作方便等特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件制造及真空的各個(gè)領(lǐng)域。設(shè)備的具體組成主要包括真空測量系統(tǒng)、真空室、閥門及真空管路、電器控制系統(tǒng)等
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