
電鍍耐腐蝕自吸泵生產(chǎn)廠家 杰凱泵業(yè)廠家供應(yīng)
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表面微細加工技術(shù)指那些能夠制造微小尺寸元器件或薄膜圖形的方法,微細加工的加工尺寸一般在亞毫米(常指低于100微米)至納米級范圍內(nèi),而加工的單元則從微米級、納米級到原子級。
根據(jù)微細加工的機理不同,可以將其分為三種類型:①分離型或者去除型加工,即以分解、蒸發(fā)、濺射、刻蝕、切削、破碎等方法將材料中所希望去掉的部分分離出來的加工方法;②生長型加工方法,即以一種材料作為基材,在其上添加另一'種材料,形成所需的 形狀或圖形的加工方法,按此定義,物理氣相沉淀、化學(xué)氣相沉淀、離子注入、電鍍、化學(xué)鍍都屬于微細加工技術(shù);③變形加工,指材料形狀發(fā)生變化的加工,如塑性變形、流體變形等。許多的微細加工是通過前兩種方式的組合來完成的,如先沉積導(dǎo)電薄膜,然后利 用光刻技術(shù)選擇性腐蝕,將其制成導(dǎo)電圖形。
實際上,上述三種方式在普通的加工(非微細加工〕中都存在,區(qū)別只在于微細加工時 的對象和每次加工的單元尺寸小,加工的方法更加精細。
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