射汽式抽氣器由工作噴嘴、混合室和擴壓管三部分組成。工作蒸汽經(jīng)過噴嘴時熱降很大，流速增高，噴嘴出口的高速蒸汽流，使混合室的壓力低于凝汽器的壓力，因此凝汽器里的空氣就被吸進混合室里。吸入的空氣和蒸汽混合在一起進入擴壓管，在擴壓管中流速逐漸降低，而壓力逐漸升高。
對于一個二級的主抽氣器，蒸汽經(jīng)過一級冷卻室冷凝成水，空氣再由第二級射汽抽氣器抽出。其工作過程與首級完全一樣，只是在第二級射汽抽氣器的擴壓管里，蒸汽和空氣的混合氣體壓力升高到比大氣壓力略高一點，經(jīng)過冷卻器把蒸汽凝結(jié)成水，空氣排到大氣里。
中國真空設(shè)備制造行業(yè)近年來無論是規(guī)模、品種還是技術(shù)水平都已取得了長足的進步,但整個行業(yè)與國外同行業(yè)相比,還仍然存在較大差距。
主要表現(xiàn)在：一是企業(yè)規(guī)模仍然偏小,全國散布著數(shù)百家生產(chǎn)企業(yè),其中有很大部分都是在以往國有企業(yè)中分散出來的家族式或朋友之間股份合作式小微企業(yè),整體實力偏弱；二是大部分企業(yè)研發(fā)投入少,沒有設(shè)立真正的研發(fā)部門,基本處于接單—設(shè)計—生產(chǎn)的簡單模式,導(dǎo)致在產(chǎn)品創(chuàng)新等方面遠遠落后于國外同行,產(chǎn)品同質(zhì)化現(xiàn)象嚴重,高端產(chǎn)品市場基本被國外同行壟斷。
干式機械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：
低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；
在化學(xué)工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止造成污染，適合用干式真空泵；
用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。
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