無塵室運轉(zhuǎn)與維護管理
無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬設備之配合投資外，也需要良好的軟件——管理制度來搭配，方能維持良好的潔凈度；無塵室運轉(zhuǎn)管理，可依作業(yè)人員、原物料、設備及無塵室內(nèi)所用東西等加以探討；無塵室內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設備也包括在內(nèi)，本節(jié)將對該二系統(tǒng)之運轉(zhuǎn)維護及保養(yǎng)做一概略說明。
一、污染源控制
無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬設備之配合投資外，也需要良好的軟件——管理制度來搭配，方能維持良好的潔凈度。無塵室內(nèi)之微污染來源，經(jīng)測試分析結(jié)果，作業(yè)人員占約80%。
無塵室的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源。外污染源主要包括空調(diào)送風、間隙滲入、建筑物、工作服、風管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內(nèi)污染源則包括制程設備、工作人員、工具、加工制程、隔間材料、工作桌、包裝材料等。
對硅芯片而言，微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路，使芯片失去運作功能，因此微污染源的控制已成為無塵室管理的重要環(huán)節(jié)。表一為自然環(huán)境所測得的塵埃濃度，可為設計參考，而在微污染控制，其基本原則有四：
1.外部塵埃侵入之防止：無塵室運轉(zhuǎn)與維護管理
無塵室適當之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設備、原材料搬入無塵室前先做好清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當?shù)墓芾砗驮O置。
2.室內(nèi)發(fā)塵之防止：無塵室運轉(zhuǎn)與維護管理
隔間板、地板等無塵室材料的適當選用、制程設備的發(fā)塵抑制、生產(chǎn)自動化及人員不聚集、動作放松、潔凈衣的管理、使用無塵室專用器等。
3.室內(nèi)發(fā)塵之不積留：
墻壁體應光滑無死角、無塵室需定期保養(yǎng)和清掃、制程設備四周應留有空間。
4.發(fā)生塵埃之排除：
換氣次數(shù)應足夠，適當?shù)目臻g布置以及污染源接排氣和空調(diào)的氣流速度須適當。
人、物入室的管理問題、實際的作業(yè)條件和工程管理關(guān)聯(lián)之問題、室內(nèi)之空調(diào)及清掃關(guān)系之問題，這些問題將于下節(jié)祥述。無塵室運轉(zhuǎn)與維護管理
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