薄膜測量儀器 >> 薄膜在線監(jiān)測控制儀器 >> 薄膜厚度傳感器
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產(chǎn)品編號：
841432316
產(chǎn)品名稱：
薄膜厚度傳感器
規(guī) 格：
產(chǎn)品備注：
產(chǎn)品類別：
薄膜測量儀器
產(chǎn) 品 說 明
溫度漲落是晶體頻率漂移的最顯著的原因，用水冷卻的標準傳感器頭解決這個問題并不管用。許多制造商建議把晶體的溫度保持在20°C左右，但他們的傳感器沒有測量溫度的手段。實際應用已經(jīng)表明在高速率的沉積過程中，水制冷的標準傳感器在短短的10分鐘之內(nèi)會經(jīng)歷20°C的溫度偏差。在納米測量業(yè)界，這種差異程度毫無疑問會導致厚度數(shù)據(jù)的不準確；為此，我們設計并制造了 Phoenix? 薄膜厚度傳感器。
Phoenix? 薄膜厚度傳感器高效、簡單且耐用，最佳化地用于Eon-LT?基于電腦控制的監(jiān)測器和Eon-ID? 薄膜生長厚度控制儀(包括綜合顯示和軟件)，二者都含有溫度測量技術。熱電偶的溫度讀數(shù)精度增加到+/- 1°C之內(nèi)。. Phoenix? 薄膜厚度傳感器能夠隨著相應的速率和厚度值自動地用圖表來表示溫度和頻率，實時校正，并且精度達到0.001Hz。
Phoenix?傳感器對該公司出品的RC?晶體是最佳化的，獨特地不受輻射峰值、薄膜應力、薄膜冷凝和源輻射的影響。當采用HT?晶體時，由于實施控制過程和/或反應室條件，這個系統(tǒng)對原子層沉積(ALD)系統(tǒng)是完美的；減少了原位測量取樣和廢棄的運轉。此外，Phoenix?傳感器在每個片子的薄膜沉積上實現(xiàn)了更大的精度，導致了良品率的增加，提高了薄膜質(zhì)量。
特點：
● 單一版本的溫度測量石英晶體傳感頭
● 嵌入式K型熱電偶
● 設計為14mm直徑晶體，達到10MHz工作頻率
● 適合于2.75ConFlat真空法蘭和KF-40 真空直線導入器，長度75mm；定制尺寸，法蘭和彎管均有效，而且適用于無限長度的可調(diào)性壓力接頭
● 標準的SMA對空連接晶體測量，與Eon-ID, Eon-LT?或其它薄膜厚度監(jiān)控器和控制器兼容
898995850
