退火系統(tǒng)技術(shù)附件（趙先生：13910736973）
一、 系統(tǒng)的主要組成及技術(shù)指標(biāo)
極限真空度：≤6.6x10-5Pa (經(jīng)烘烤除氣后，冷態(tài))；
系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；
系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣并充干燥氮?dú)夂螅匍_始抽氣，40分鐘可達(dá)到6.6x10-4 Pa；
停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度：≤10 Pa；
1.1 、真空室： 1套
約為Ф800×550（mm）圓筒型立式雙層水冷全不銹鋼結(jié)構(gòu)。上蓋電動(dòng)升降，外表面特殊工藝拋光處理，下面開有泵接口，保護(hù)氣接口，鐘罩側(cè)面開有電極接口，鎢錸熱電偶接口，真空規(guī)接口，壓力表接口。除上述法蘭口外，在真空室的四周適當(dāng)位置留有CF35、CF63的備用法蘭口各一個(gè)，配以相應(yīng)的盲板。
1.2 、樣品加熱控溫系統(tǒng)： 1套
1.2.1、溫度：工作區(qū)為Ф350×250（mm），工作區(qū)最高加熱溫度為1300℃。
工作區(qū)溫度均勻性：±10℃。
1.2.2、發(fā)熱體及保溫層：圓周和上下都布置加熱體，發(fā)熱體由鉬材料制成，多層金屬屏蔽。
1.2.3、加熱電源：直流可控硅加熱電源，側(cè)發(fā)熱體加熱功率約為30KW，上下加熱功率約為15KW；
1.2.4、控溫：室溫--1300℃采用鎢錸熱電偶測溫，3點(diǎn)控溫，分別位于測面和上下面，采用日本產(chǎn)溫控儀控溫表。
1.3 、樣品架系統(tǒng) 1套
鐘蓋升起后，樣品架固定在下底盤上，將工件放在樣品架上。
1.4 、工作氣路：
1.4.1、充氣閥RF16，管路、接頭等：1路（充保護(hù)氣體）
1.4.2、充氣閥D6，管路、接頭等：1路（解除真空沖氮?dú)猓?b>
3、抽氣機(jī)組及閥門、管道 1套
3.1 、復(fù)合分子泵及變頻控制電源：1臺（抽速1200升/秒，北京）；
3.2 、直聯(lián)機(jī)械泵：1臺（抽速8升/秒，上海）；
3.3 、KF40電磁壓差閥：1臺（上海）；
3.4 、分子泵與機(jī)械泵軟聯(lián)接金屬軟管：1套 ；
3.5 、機(jī)械泵與真空室之間的旁抽管路、KF40電磁隔斷閥及角閥CF35：1套；
3.6 、CF200-B閘板閥：1臺（用于分子泵與真空室隔離）；
聯(lián)系人：李女士(銷售部：經(jīng)理)
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