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國(guó)內(nèi)廠(chǎng)價(jià)直供半導(dǎo)體用電子級(jí)正硅酸四乙酯/TEOS
國(guó)內(nèi)廠(chǎng)價(jià)直供半導(dǎo)體用電子級(jí)正硅酸四乙酯/TEOS
正硅酸四乙酯/ TEOS
名稱(chēng)
正硅酸四乙酯(TEOS)
化學(xué)式
C8H20O4Si
相對(duì)分子量
208.33
CAS號(hào)
78-10-4
理化性質(zhì)
無(wú)色透明液體,熔點(diǎn)-77℃,沸點(diǎn)168.5℃,密度0.9346g/ml。在空氣中較穩(wěn)定;微溶于水,在純水中水解緩慢;在酸或堿的存在下能加速水解作用。
主要用途
主要用于晶圓制造過(guò)程中的化學(xué)氣相沉積(CVD)制程,用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半導(dǎo)體、分立器件、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造所需的電子化學(xué)品。
典型應(yīng)用
CVD類(lèi)型
材料
APCVD
TEOS,O3
LPCVD
TEOS
PECVD
TEOS,O2
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