供應(yīng)質(zhì)量流量控制系統(tǒng)DGS03
質(zhì)量流量控制系統(tǒng)DGS03主要用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密控制和測量。它們在半導(dǎo)體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：微電子工藝設(shè)備、，如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。系統(tǒng)默認(rèn)配置為： MAC地址：32；RS485通信波特率：19200； 控制方式：數(shù)字。
∮主要技術(shù)參數(shù)：
流量規(guī)格(N2) （0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM
（0~1，2，3，5，10，20，30）SLM
準(zhǔn)確度 ±1.0% S.P . (≥35% F.S.)
±0.35% F.S. (＜35% F.S.)
線性 ±0. 5% F.S.
重復(fù)精度 ±0.2% F.S.
工作壓差范圍（＜0.02MPa） 0.05~0.35Mpa 流量規(guī)格≤10SLM
0.1~0.35Mpa 流量規(guī)格＞10SLM
溫度系數(shù) 零點：≤±0.05FS/℃; 調(diào)節(jié)時:≤±0.1FS/℃
耐壓 3MPa
響應(yīng)時間 ≤2sec
漏率 1×10-10pa.m3/sec He
密封材料 氟橡膠; 氯丁橡膠
工作環(huán)境溫度 (5~45) ℃
聯(lián)系人：于小姐(市場部)
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