當(dāng)前位置：商國互聯(lián)首頁 供應(yīng)信息 機械及行業(yè)設(shè)備 電子產(chǎn)品制造設(shè)備 電子元件生產(chǎn)與檢測設(shè)備
1-3軸氣浮平移臺
北京航星聯(lián)合科技有限公司/天津中精微儀器設(shè)備有限公司氣浮氣浮平移臺系列是經(jīng)過我們長期不懈努力推出的，精度高、剛度特別強，已獲國家專利。國內(nèi)外先進水平
氣浮平移臺實現(xiàn)了設(shè)計定型，可以快速訂制，行程250mm（12寸）XY臺正在備現(xiàn)貨。
? 我公司的氣浮平移臺產(chǎn)品，一般采用直線電機、光柵尺配合氣浮導(dǎo)軌的方法，分辨率好于200nm，精度等同于光柵精度。
? 也可提供雙頻激光反饋控制，穩(wěn)定精度可達20nm，有成功案例。
? 采取隔塵措施后，可應(yīng)用于高精度生產(chǎn)場合。
? 可提供超長行程單軸工作臺。
? 也可采用音圈電機、高精度絲杠配合我們獨創(chuàng)的5自由度氣浮聯(lián)軸器，驅(qū)動工作臺。
? 平移臺可以安裝氣浮主軸和氣浮轉(zhuǎn)臺。
3軸龍門氣浮平移臺（已設(shè)計定型） 3軸氣浮平移臺（已設(shè)計定型，圖示為帶防護型）
應(yīng)用于：集成電路測試、CCD鏡頭拼接儀等精密 應(yīng)用于：上述龍門氣浮平移臺所有應(yīng)用場合，臺面相
超精密測量場合。 對小一些。此時一般要去掉部分防護。
應(yīng)用于：高精度激光加工等精密加工場合 應(yīng)用于：光學(xué)零件加工設(shè)備、超精密加工設(shè)備
3軸氣浮平移臺的一部分可以單獨供貨，是單軸或雙軸氣浮平移臺
雙軸氣浮平移臺 雙軸氣浮平移臺（帶防護） 單軸氣浮平移臺 單軸氣浮平移臺 （帶防護）
其他案例
10m長行程單軸平移臺 3軸氣浮平移臺（帶主軸和轉(zhuǎn)臺） 3軸氣浮平移臺（Z軸提升式）
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