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當(dāng)前位置:商國(guó)互聯(lián)首頁(yè) 供應(yīng)信息 機(jī)械及行業(yè)設(shè)備 其他行業(yè)專用設(shè)備 電真空器件專用設(shè)備

供應(yīng)磁控聚焦濺射系統(tǒng)
◆磁控聚焦濺射系統(tǒng)
◆真空環(huán)境:5.0*10-5Pa
◆共聚焦沉積;垂直沉積
◆2套50mm磁控陰極,間距和角度可調(diào)
◆真空室(320|300m)
◆上蓋為自動(dòng)翻開式;
◆溫度:25-500C
◆機(jī)械泵:4升|分鐘;
◆分子泵:110升|秒
◆手動(dòng)|計(jì)算機(jī)控制
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