當(dāng)前位置：商國互聯(lián)首頁 供應(yīng)信息 機械及行業(yè)設(shè)備 其他行業(yè)專用設(shè)備 電真空器件專用設(shè)備
供應(yīng)磁控等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
●真空環(huán)境：1.0*10-5Pa
●采用磁控等離子體化學(xué)氣相沉積各種薄膜
●磁控電容耦合式，電磁場可調(diào)（0-300Gauss）
●真空室（320mm）上蓋為自動翻開式：溫度：27-700C陰極：5“水冷，間距可調(diào)；陽極：5”，室溫-700C可調(diào)
●機械泵：8升/分鐘
●分子泵：600升/秒
●手動/技算機控制
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