供應高性能X射線檢測設備
x|aminer

——高性能X射線檢測系統(tǒng)，適用于半導體封裝和線路板組裝等電子行業(yè)。

x|aminer具有亞微米級高分辨率X射線檢測系統(tǒng)，最適用于半導體封裝和線路板組裝等電子行業(yè)領域產品的內部缺陷檢測和失效分析。標配超高性能的開放式亞微米級160kVX射線管，細節(jié)分辨力達到1μm，高分辨率的兩百萬像素數字成像鏈、最大幾何放大倍率可達2100倍，可對被測物進行最大傾斜70°，旋轉360°任意范圍內的視角進行檢測。

軟件可對BGA、CSP進行手動及半自動程序檢查檢測，并自動生成檢測數據報告。

主要特征

.  優(yōu)越的影像品質

.  高細節(jié)分辨能力

.  最小化的準備時間

.  卓越的操控性能

客戶優(yōu)勢

.  射線劑量率的穩(wěn)定性：8小時內只有小于0.5%的射線強度變化，見上圖

.  抗放電：制造過程中專業(yè)的表面處理和全自動的預熱程序避免了射線管的放電

.  自動調節(jié)：在預熱過程中，自動完成射線管參數的調節(jié)，以達到最優(yōu)的設置

.  即插式陰極：預校的備用燈絲陰極，能夠避免燈絲安置錯誤帶來的不良運行狀  態(tài)，并且使更換陰極時的停機時間最小化

.  靶狀態(tài)自檢：自動檢測靶的狀態(tài)，并顯示靶的好壞程度

主要技術參數

系統(tǒng)放大倍數和分辨率

幾何放大倍數可達2100倍

細節(jié)分辨能力<1微米

亞微米級X射線管

類型  開放管，透射式管頭，170度輻射角，準直功能

最大管電壓  160kV  

最大管功率  20W  

陽極靶  無毒鎢靶，可旋轉調整以便多次使用

陰極燈絲  鎢絲，經預調的即插式結構，更換簡單快速

真空系統(tǒng)  渦輪分子真空泵和無油式低真空泵

探測器  

數字成像鏈  高分辨率4"圖像增強器和2百萬像素數字照相機

檢測平臺

總體結構  高精度、無振動、5軸同步驅動

最大檢測區(qū)域  410mm×410mm  

最大工件尺寸/重量  410mm×410mm/5kg  

高放大倍率下傾斜視角  0°~70°無級調節(jié)

旋轉角度  360°連續(xù)旋轉

操控  操縱桿控制或鼠標（手動模式）和數控編程控制（自動模式）

軸運動速度(X-Y-Z)  10μm/s到80mm/s

操控輔助功能  X射線影像導航圖，點擊移動功能，點擊放大功能，自動保持視野中心功能，激光定位瞄準

防碰撞裝置  防止檢測樣品與射線管產生碰撞  

圖像處理

quality|assurance/x|act  base  功能全面的X射線二維圖像分析軟件（包含圖像對比增強和濾波功能、測量功能、數控編程功能）

bga|module(標準)  BGA焊點自動檢測功能

vc|module(標準)  空隙面積比自動計算，包括多芯片的貼裝空隙檢測功能  

系統(tǒng)尺寸

尺寸(W×H×D)  1800mm×1900mm×1300mm  (不包括控制臺和可拆卸后伸展臺)

高度可調控制面板  400mm  

重量  約2100kg

射線防護

全方位防護鉛  鋼防護結構與鉛玻璃窗的安全屏蔽室輻射泄漏率<1μSv/h,  符合國際標準