供應(yīng)微焦點(diǎn)x射線xray系統(tǒng)
x|aminer
高性能微焦點(diǎn)X射線檢測(cè)系統(tǒng)，適用于半導(dǎo)體封裝和線路板組裝等電子行業(yè)。
最適用于半導(dǎo)體封裝和線路板組裝等電子行業(yè)領(lǐng)域產(chǎn)品的內(nèi)部缺陷檢測(cè)和失效分析。標(biāo)配超高性能的開(kāi)放式亞微米級(jí)160kVX射線管，細(xì)節(jié)分辨力達(dá)到1μm，高分辨率的兩百萬(wàn)像素?cái)?shù)字成像鏈、最大幾何放大倍率可達(dá)2100倍，可對(duì)被測(cè)物進(jìn)行最大傾斜70°，旋轉(zhuǎn)360°任意范圍內(nèi)的視角進(jìn)行檢測(cè)。

軟件可對(duì)BGA、CSP進(jìn)行手動(dòng)及半自動(dòng)程序檢查檢測(cè)，并自動(dòng)生成檢測(cè)數(shù)據(jù)報(bào)告。

主要特征

.  優(yōu)越的影像品質(zhì)

.  高細(xì)節(jié)分辨能力

.  最小化的準(zhǔn)備時(shí)間

.  卓越的操控性能

客戶優(yōu)勢(shì)

.  射線劑量率的穩(wěn)定性：8小時(shí)內(nèi)只有小于0.5%的射線強(qiáng)度變化

.  抗放電：制造過(guò)程中專業(yè)的表面處理和全自動(dòng)的預(yù)熱程序避免了射線管的放電

.  自動(dòng)調(diào)節(jié)：在預(yù)熱過(guò)程中，自動(dòng)完成射線管參數(shù)的調(diào)節(jié)，以達(dá)到最優(yōu)的設(shè)置

.  即插式陰極：預(yù)校的備用燈絲陰極，能夠避免燈絲安置錯(cuò)誤帶來(lái)的不良運(yùn)行狀  態(tài)，并且使更換陰極時(shí)的停機(jī)時(shí)間最小化

.  靶狀態(tài)自檢：自動(dòng)檢測(cè)靶的狀態(tài)，并顯示靶的好壞程度

主要技術(shù)參數(shù)

系統(tǒng)放大倍數(shù)和分辨率

幾何放大倍數(shù)可達(dá)2100倍

細(xì)節(jié)分辨能力<1微米

亞微米級(jí)X射線管

類型  開(kāi)放管，透射式管頭，170度輻射角，準(zhǔn)直功能

最大管電壓  160kV  

最大管功率  20W  

陽(yáng)極靶  無(wú)毒鎢靶，可旋轉(zhuǎn)調(diào)整以便多次使用

陰極燈絲  鎢絲，經(jīng)預(yù)調(diào)的即插式結(jié)構(gòu)，更換簡(jiǎn)單快速

真空系統(tǒng)  渦輪分子真空泵和無(wú)油式低真空泵

探測(cè)器  

數(shù)字成像鏈  高分辨率4"圖像增強(qiáng)器和2百萬(wàn)像素?cái)?shù)字照相機(jī)

檢測(cè)平臺(tái)

總體結(jié)構(gòu)  高精度、無(wú)振動(dòng)、5軸同步驅(qū)動(dòng)

最大檢測(cè)區(qū)域  410mm×410mm  

最大工件尺寸/重量  410mm×410mm/5kg  

高放大倍率下傾斜視角  0°~70°無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)

旋轉(zhuǎn)角度  360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)

操控  操縱桿控制或鼠標(biāo)（手動(dòng)模式）和數(shù)控編程控制（自動(dòng)模式）

軸運(yùn)動(dòng)速度(X-Y-Z)  10μm/s到80mm/s

操控輔助功能  X射線影像導(dǎo)航圖，點(diǎn)擊移動(dòng)功能，點(diǎn)擊放大功能，自動(dòng)保持視野中心功能，激光定位瞄準(zhǔn)

防碰撞裝置  防止檢測(cè)樣品與射線管產(chǎn)生碰撞  

圖像處理

quality|assurance/x|act  base  功能全面的X射線二維圖像分析軟件（包含圖像對(duì)比增強(qiáng)和濾波功能、測(cè)量功能、數(shù)控編程功能）

bga|module(標(biāo)準(zhǔn))  BGA焊點(diǎn)自動(dòng)檢測(cè)功能

vc|module(標(biāo)準(zhǔn))  空隙面積比自動(dòng)計(jì)算，包括多芯片的貼裝空隙檢測(cè)功能  

系統(tǒng)尺寸

尺寸(W×H×D)  1800mm×1900mm×1300mm  (不包括控制臺(tái)和可拆卸后伸展臺(tái))

高度可調(diào)控制面板  400mm  

重量  約2100kg

射線防護(hù)

全方位防護(hù)鉛  鋼防護(hù)結(jié)構(gòu)與鉛玻璃窗的安全屏蔽室輻射泄漏率<1μSv/h,  符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)