微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氫氮混合氣體配氣組

微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氫氮混合氣體配氣組采用數(shù)字流量計(jì)，實(shí)時(shí)顯示各路氣體的用氣量。

   微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氫氮混合氣體配氣組進(jìn)口壓力有波動(dòng)時(shí)，自動(dòng)調(diào)節(jié)加入量并保持配比含量。

    3、高精度壓力傳感器實(shí)時(shí)控制并監(jiān)測(cè)混合氣體壓力。

    4、設(shè)各路報(bào)警，最大限度保證配比器的正常運(yùn)行。

              5，配氣裝置采用整體式結(jié)構(gòu)，配置485端子輸出，完成遠(yuǎn)程控制需要

微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氫氮混合氣體配氣組 主要技術(shù)指標(biāo)；

 本裝置以工業(yè)普氧為原料氣，經(jīng)催化冷卻，二級(jí)吸附，精密過(guò)濾的方法除去氧中微量雜質(zhì)氫，甲烷，一氧化碳，二氧化碳，水汽和塵埃獲得高純度的氧氣。

    本產(chǎn)品結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，系統(tǒng)氣密性良好，所用催化劑（可視原料氣的雜質(zhì)含量來(lái)調(diào)整工作溫度）可長(zhǎng)期使用無(wú)需再生，二級(jí)雙塔并聯(lián)結(jié)構(gòu)的干燥器延長(zhǎng)了干燥器再生時(shí)間，再生設(shè)定周期168小時(shí)，節(jié)能高效，最大限度的保證了純氣的品質(zhì)，高效吸附劑可在產(chǎn)品內(nèi)再生后重復(fù)使用。適用于需要大量高純氧氣半導(dǎo)體、光纖、顯像管等主要生產(chǎn)部門。

微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氫氮混合氣體配氣組技術(shù)指標(biāo)

原料氣：液氧

處理氣量     10Nm3/h

工作壓力     0.4-0.8Mpa

原料氧的純度：＞ 99.7%

純化后：     CH4＜0.3ppm     CO2＜0.5ppm   

    H2O＜1.5ppm     塵埃 顆粒≤3.0粒/升（100級(jí)）

   裝機(jī)功率：   380V     5KW

     氮?dú)鈮毫?nbsp;               ≥0.4Mpa        

     氫氣壓力                ≥0.4Mpa

2、  工作壓力                ≤0,3MPa

3、  混合氣流量              ≥50NM3/h

     混合氣含氫量            0-20%可調(diào)

           混合氣壓力        0.3MPa

           混合氣精度        ±1.%（滿量程）

        4、  裝機(jī)功率                200W                         

        5、  電源                    220V、50HZ

        6，  控制柜外型尺寸          1000×700×1500mm         

        7、  設(shè)備顏色                米白色

微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氫氮混合氣體配氣組設(shè)備主要組成及功能；

1,氣體流量計(jì)；是本系統(tǒng)的控制機(jī)構(gòu)，其動(dòng)作直接受執(zhí)構(gòu)控制。是混合配比的關(guān)鍵部件。

2,穩(wěn)壓減壓控制閥；控制壓力及流量、混合氣壓力主要穩(wěn)壓部件。

3,氫氣分析儀；是本設(shè)備的檢測(cè)機(jī)構(gòu)(小流量計(jì)是氫分儀的 流量控制器)，顯示配比氣中的百分比含量。

4,開(kāi)關(guān)閥門；控制氣體的通斷，停止設(shè)備運(yùn)行。

5,壓力傳感器；檢測(cè)混合氣壓力，并配合閥門調(diào)節(jié)壓力。

6,混合罐；混合氣混合罐，把各路氣體混合均勻。

7,觸摸屏；顯示實(shí)時(shí)流程、配氣參數(shù)、報(bào)警參數(shù)等。

8,電氣組合；控制操作設(shè)備，直觀顯示工作流程、工作狀態(tài)。

微電子氧氣純化設(shè)備半導(dǎo)體氫氮混合氣體配氣組工藝流程；

工藝流程及控制方法

      以圖所示(見(jiàn)流程圖)，氫氣經(jīng)精密過(guò)濾器，減壓穩(wěn)壓閥，質(zhì)量流量計(jì) 加入經(jīng)穩(wěn)壓后的氮?dú)庵校?jīng)過(guò)比例計(jì)算，兩種配比氣經(jīng)混 合罐混合?；旌虾蟮幕旌吓浔葰饨?jīng)小流量計(jì)傳輸給分析儀分析，顯示各種百分比含量，達(dá)到需要的比例后，通過(guò)工作出口閥送到使用地點(diǎn).具體操作請(qǐng)見(jiàn)下控制流程。