天津氧氣純化裝置常熟微電子氧氣純化機(jī)半導(dǎo)體氧氣凈化器

 天津氧氣純化裝置常熟微電子氧氣純化機(jī)半導(dǎo)體氧氣凈化器取得6N的載氣有兩鐘方法，一是直接購買純度為6N的瓶裝高純氣體，二是使用氣體純化器將4N的氣體純度提高到6N以上。為了滿足高端用戶的需求，也為氣體公司從單純的工業(yè)氣體制造銷售提升一個(gè)高度，那么選用相對低純度的氣體經(jīng)純化裝置提純后得到高純氣體，相對是最廉價(jià)的，也是企業(yè)開源節(jié)流的一個(gè)亮點(diǎn)，也為公司更進(jìn)一步的制造各類標(biāo)氣及高端配氣做好資源準(zhǔn)備，下面，對系列氣體純化裝置作全面的闡述： 

 天津氧氣純化裝置常熟微電子氧氣純化機(jī)半導(dǎo)體氧氣凈化器氫氣純化裝置

  天津氧氣純化裝置常熟微電子氧氣純化機(jī)半導(dǎo)體氧氣凈化器

技術(shù)參數(shù)：

                      1、處理氣量：≥6Nm3/h

                      2、原料氣：≥99.99%（電解氫）

3.純化后氫氣純度：符合并高于GB/T4842-2006高純氫標(biāo)準(zhǔn)

O2≤0.2ppm   

                                        H2O≤2.0ppm(-76℃)

                                        含塵量≤3.5顆/升 (粒徑≥0.1μm塵埃)

                                        總碳量≤0.2ppm

                                        總烴量≤0.5ppm

                      4、出口壓力：0.6～1Mpa可調(diào)

5，裝機(jī)容量： 4Kw

6、 外形尺寸：700×600×1600（mm）

7、 設(shè)備重量：140kg

 

 天津氧氣純化裝置常熟微電子氧氣純化機(jī)半導(dǎo)體氧氣凈化器設(shè)備構(gòu)成：

1、 一級除氧器

2、 二級除氧器

                     3、干燥器

4、水冷卻器

5、汽水分離器

6、防爆阻火器

7、配套儀器儀表

8，一體化機(jī)箱

9、元亨卡套球閥，元亨卡套接頭

10，304BA管路及流量計(jì)等配件

11，高精度鎳管過濾器

12，西門子，施耐德電器及控制元件，

 

 

3工藝流程：  

原料氫氣進(jìn)入一級除氧器，在鈀觸媒的作用下并在100℃溫度下利用氧氫反    應(yīng)對氫氣進(jìn)行預(yù)處理后經(jīng)冷卻、汽水分離，再進(jìn)入填有高效率脫氧劑的二級除氧器及裝有二氧化碳專用吸附劑的吸附干燥器深度處理，同步處理氫氣中的的微量二氧化碳，碳?xì)浠衔铮⒘克?，干燥后的氫氣?jīng)高精度鎳管過濾塵埃后析出經(jīng)隔膜壓縮機(jī)增壓后灌裝氣瓶。

吸附干燥器復(fù)式原位再生裝置，一組工作另一組再生，活化程序：即取一部分產(chǎn)品氣在350℃溫度下對吸飽和的分子篩進(jìn)行再生處理，兩組工作再生交替進(jìn)行，可連續(xù)無間斷獲得理想純度高純氫氣（使其含氧量≤0.2ppm，露點(diǎn)≤-70℃）。再生周期24小時(shí)/次

 

  天津氧氣純化裝置常熟微電子氧氣純化機(jī)半導(dǎo)體氧氣凈化器本裝置以工業(yè)普氧為原料氣，經(jīng)催化冷卻，二級吸附，精密過濾的方法除去氧中微量雜質(zhì)氫，甲烷，一氧化碳，二氧化碳，水汽和塵埃獲得高純度的氧氣。

    本產(chǎn)品結(jié)構(gòu)簡單，系統(tǒng)氣密性良好，所用催化劑（可視原料氣的雜質(zhì)含量來調(diào)整工作溫度）可長期使用無需再生，二級雙塔并聯(lián)結(jié)構(gòu)的干燥器延長了干燥器再生時(shí)間，再生設(shè)定周期168小時(shí)，節(jié)能高效，最大限度的保證了純氣的品質(zhì)，高效吸附劑可在產(chǎn)品內(nèi)再生后重復(fù)使用。適用于需要大量高純氧氣半導(dǎo)體、光纖、顯像管等主要生產(chǎn)部門。

 天津氧氣純化裝置常熟微電子氧氣純化機(jī)半導(dǎo)體氧氣凈化器

技術(shù)指標(biāo)

原料氣：液氧

處理氣量     10Nm3/h

工作壓力     0.4-0.8Mpa

原料氧的純度：＞ 99.7%

純化后：     CH4＜0.3ppm     CO2＜0.5ppm   

    H2O＜1.5ppm     塵埃 顆?！?/span>3.0粒/升（100級）

   裝機(jī)功率：   380V     5KW