
供應(yīng)MEMS加速度計MS9010
MEMS加速度計MS9010
Colibrys MS9010系列是一個電容式MEMS加速度計,它是由一個立體微加工工藝支撐的硅元件,一個低功耗ASIC專用信號處理器和一個存儲補償值的微控制器以及一個溫度傳感器等元件組成。該產(chǎn)品是一個低功耗的、校準的、功能強大和性能穩(wěn)定的產(chǎn)品,其電子配置中帶有一個電源重置以防止電壓不穩(wěn)的全保護裝置。
應(yīng)用范圍: 特點:
? 振動測量
? 地震測量
? 機器人技術(shù)
? 碰撞檢測
? 數(shù)據(jù)記錄儀
? 鉆探
? 傾斜測量運輸 ? 優(yōu)異的偏差穩(wěn)定性
? 環(huán)境性能好
? 集成溫度傳感器
? 低成本、低電壓模擬輸出
性能參數(shù):
工
作
特
性 量程 ±10 g
封裝 LCC20 8.9mm×8.9mm
偏差標定 <50 mg
48h偏差穩(wěn)定性 [1] 0.25 mg
年偏差穩(wěn)定性[2] 1.5 (<5) mg
上/掉電重復(fù)性 <0.75 mg
偏差溫度系數(shù)[3] 0.5 mg/℃
±2 mg/℃
比例因子,靈敏度(K1) 200±2 mV/g
年比例因子穩(wěn)定性 300 (< 1000) ppm
比例因子溫度系數(shù) 100 ppm/℃
-50 / 250 (最小/最大值)
輸入軸向誤差(Kp,Ko) <10 mrad(最大值)
1 %(最大值)
分辨率/閾值 (@ 1Hz) < 0.6 mg(最大值)
非線性度 <0.9 % FS(最大值)
<0.09 g(最大值)
帶寬[4 ] 0~≥100 Hz
白噪聲頻譜密度 18 µV/ hz½
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