砷化銦襯底
名稱：InAs（砷化銦）單晶，
規(guī)格：可以做到2英寸、3英寸，正常晶向?yàn)?span><100>
參數(shù)：
InAs單晶參數(shù)
|
品種 |
類型 |
濃度 （cm-3） |
遷移率 (cm2/V.s) |
位錯密度 (cm-2) |
|
純 InAs |
N |
￡3′1016 |
32′104 |
<3′104 |
|
S-InAs |
N |
(3-80)′1017 |
？ |
<1′104 |
|
Zn-InAs |
P |
(3-80)′1017 |
60-300 |
<1′104 |
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