磷化銦襯底
InP(磷化銦)單晶
規(guī)格：可以做到2英寸、3英寸，正常晶向?yàn)?span><100>
參數(shù)：
InP單晶參數(shù)
|
品種 |
類型 |
濃度(n)（cm-3|） |
遷移率(μ)(cm2/V.S) |
電阻率(?.cm) |
位錯密度(EPD)(cm-2) |
|
純InP |
N |
<3*1016 |
>1700 |
---- |
<50000 |
|
S-InP |
N |
5*1017<n<5*1018 |
>1700 |
----- |
<50000 |
|
Zn-InP |
P |
0.6*1018<n<6*1018 |
>50 |
------ |
<50000 |
|
Fe-InP |
N |
107~108 |
>1700 |
>107 |
<50000 |
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